Регистрация
deal.by
Вакуумная установка нанесения тонких пленок SEC-600/SE-600 - фото 1 - id-p172373487
Характеристики и описание
    • Страна производитель
      США

Описание:

В установках серии SE/SEC базовая платформа имеет диаметр до 508 мм и может интегрировать до 15 вакуумных вводов для инструментария, управления и манипуляции с элементами системы. Очень часто установка заказывается с колпаком диаметром 495 мм и планетарным подложкодержателем емкостью 18 подложек диаметром по 100 мм. Общее время откачки до рабочего вакуума – менее 30 мин, что позволяет достичь хорошей производительности.

 

Техническая спецификация:

  • Крионасос: 203 мм
  • Форвакуумный насос: 39 – 96 м3/ч
  • Холодная ловушка: емкость 2,5 л
  • Водоохлаждаемая ловушка
  • Высоковакуумный вертикальный затвор
  • Диаметр прохода форвакуумных клапанов – 75 мм
  • Электро-пневматический привод всех клапанов
  • Сдвоенный ионизационный вакуумный датчик

 

Опциональная спецификация:

  • Диффузионный вакуумный насос (2400 л/с)
  • Рабочая камера с водяным охлаждением, высотой до 762 мм
  • Любые подложкодержатели: планетарный, плоский, с изменяемым углом наклона и др.
  • Базовая платформа: диаметр 495 мм или 660 мм
  • Порт откачки: 197 мм
  • Источники: любые по запросу
  • Траверса поднятия камеры
  • Система управления уровнем LN2 в криоловушке
  • Ловушка с молекулярным ситом для предотвращения миграции капель масла в рабочую камеру
  • Порт для масс-спектрометра
  • Средства контроля за скоростью и толщиной напыления
Был online: Сегодня
ООО "Тактиком"
Рейтинг не сформирован
2 года на Deal.by

Вакуумная установка нанесения тонких пленок SEC-600/SE-600

Под заказ
Цену уточняйте
Доставка
Оплата и гарантии