Рабочая камера

Нержавеющая сталь 304, цилиндрическая (высота-250мм, диаметр-225мм), CF63 фланец для подключения системы откачки со встроенным дросселирующим клапаном. Верхняя крышка камеры на петлях с портами для поворота и перемещения пластин, подвода мощности к устройству нагрева, подсоединению термопары и привода заслонки. Нижняя платформа камеры с 3-мя наклоненными угловыми портами для конфокального расположения источников - катодов; центральный порт для источника, порты для датчиков и подачи газа.

Система откачки

Турбомолекулярный, вентиляционный клапан, двухступенчатый пластинчато-роторный или сухой спиральный насос. Широкодиапазонный вакуумный датчик.

Источники

Магнетроны: 3х2”, 3x1” или один по центру

Подложки

Стандартный размер образца – до 2” (опционально – до 4”). Регулируемая скорость вращения подложек. Опционально - устройство нагрева пластин до 500°С.