Характеристики и описание
- Страна производительСША
Область применения:
Установка модели SSC-600/1000 – мощная производственная установка для промышленного напыления тонких пленок. Верхняя и нижняя базовые платформы с подложками позволяют осуществлять напыление пленок в режимах «сверху-вниз» и «снизу-вверх». Установка имеет уникальную конструкцию и позволяет выдвигать наружу базовые платформы для смены подложек или платформу с источниками для смены мишеней или обслуживания катодов.
Техническая спецификация:
|
Вакуумная камера: Подложкодержатель: Система откачки: Контроль и управление: Источники: |
Из нержавеющей стали, с водяным охлаждением Плоского типа с центральным вращением или планетарного типа Диффузионный вакуумный насос, турбомолекулярный или криогенный насос Ручное/Полуавтомат/Автоматическое До 4 катодов диаметрами до 200 мм |
Нижняя базовая платформа установки модели SSC-1000.
Загрузка образцов на подложкодержатель:
Подложкодержатель планетарного типа:
Катод и автоматизированная заслонка:
Доставка
Оплата и гарантии