Лазерный микроскоп МИМ с длинноходовым прецизионным координатным предметным столом представляет собой мощный инструмент для решения широкого круга исследовательских задач в  электронике, медицине, материаловедении и оптическом производстве

 

 

 

 

 

 

МИМ-340 ― Промышленный микроскоп для исследования субмикронных структур

Предназначен для исследования оптических свойств микро и нано рельефа крупногабаритных объектов, например поверхностей оптических элементов, вейферов, с рекордно высоким для оптической микроскопии разрешением 0,1 нм по вертикали и 10-100 нм в плоскости объекта.

Обеспечивает нанометровую (не более 100 нм) точность позиционирования объекта и привязку измеряемой области к единой системе координат.

Лазерный измерительный микроскоп, сочетающий визуализацию объектов с нанометровым разрешением и позиционирование отдельных субмикронных полей в единой координатной системе с размером поля 300х300мм, создает новые потенциальные возможности в решении научно-производственных задач. Применение МИМ будет способствовать внедрению и развитию нанотехнологий в промышленности. Показана перспективность применения МИМ в оптической промышленности для измерения шероховатости, исследования дифракционных рельефов и т.д.

Лазерный интерференционный микроскоп МИМ обладает нанометровым разрешением, высоким быстродействием и не разрушает объект в процессе исследования, что дает возможность проводить неразрушающие исследования наноразмерных структурных объектов. Использование совместно с микроскопом МИМ координатных столов, обладающих нанометровой точностью позиционирования и большой длиной хода, позволяет изучать с нанометровой точностью не только отдельные области макроскопического объекта, но и весь объект целиком.

Принцип действия

Принцип действия микроскопа основан на совместном использовании оригинальных технологий лазерной микроскопии МИМ и аэромагнитных направляющих. Такое сочетание позволяет исследовать поверхность крупногабаритных (до 300х300 мм) объектов методом МИМ без потери координаты и фокуса.

В основе технологии МИМ лежат основные принципы лазерной микроинтерферометрии. Изображение формируется модернизированным трехшаговым методом. В отличие от традиционных многошаговых методов, алгоритм расчета фазы, реализованный в МИМ, состоит в том, что точки стояния опорного зеркала и закон его перемещения выбираются из соображений минимизации погрешностей измерения фазы.

Принцип действия аэромагнитных направляющих заключается в следующем: направляющая состоит из рельса и танкетки, внутри которой размещен постоянный магнит и каналы подачи сжатого воздуха. Между танкеткой и рельсом в работе создается аэростатическая воздушная подушка, подъемная сила которой уравновешивается силой магнитного притяжения. Равновесие достигается при зазоре в несколько микрон, что предопределяет высокую жесткость и нагрузочную способность системы.

Особенности и преимущества

• Единственный в мире микроскоп со сверхплоским длинноходовым координатным столом нанометрового разрешения;
• Высокое быстродействие;
• Бесконтактность измерений;
• Простота работы;
• Метрологическая достоверность измерений.

Применение

• Материаловедение;
• Оптическая промышленность;
• Точное машиностроение;
• Авиационно-космическая промышленность.

 

Характеристики микроскопа МИМ:

№ п/п	Характеристика	Значение
1.	Характеристики микроскопа
1.1	Оптическое увеличение	1000 х
1.2	Поле зрения, мкм	7-150
1.3	Разрешение по вертикали, нм	0,1
1.4	Разрешение в плоскости XY, нм	100 ― 10
1.5	Размер кадра, пикс.	1024 х 1024
1.6	Скорость съемки, кадр/сек	3 ― 30
1.7	Источника света	Лазер 405 нм
2.	Характеристики предметного стола
2.1	Длина хода (X ― Y ― Z), мм	300x300x100
2.2	Результирующая точность, нм	150
2.3	Разрешение обратной связи, нм	100
2.4	Неплоскостность хода, нм	80
2.5	Непрямолинейность хода, нм	40
2.6	Скорость перемещения, мм/с	До 100
2.7	Грузоподъемность, кг.	100
2.8	Вес, кг.	700

 

 

---

Сертификация

Лазерный микроскопм МИМ с длинноходовым предметным столом (МИМ-340) сертифицирован по системе добровольной сертификации продукции наноиндустрии «Наносертифика». Сертификат соответствия на продукцию позволяет идентифицировать ее как продукцию наноиндустрии и подтверждает функциональные и преимущественные характеристики продукции. Сертификат (в формате PDF)

  

 

Система добровольной сертификации продукции наноиндустрии «Наносертифика» (сокращенное название ― Система «Наносертифика») создана по инициативе и при поддержке ОАО «РОСНАНО» для формирования в наноиндустрии эффективного механизма подтверждения соответствия и проведения добровольной сертификации продукции наноиндустрии и систем менеджмента предприятий наноиндустрии.

 

Преимущества оптической системы микроскопа

- Оптический микроскоп с выдающимся латеральным разрешением:

  10-100 нм – лучшее среди оптических микроскопов;

- Время получения полного 1280х1024 пикс. Кадра ― 0,3 сек.; 

- 3D-профилометер с вертикальным сверхразрешением: 0,1 нм;

- Возможность визуализации оптически анизотропных областей микроструктуры размером

  менее 100 нм;

- Возможность регистрации нанодинамики и записи «нанокино»;

- Фокусировка с дискретностью 0,25 нм.

   

 

Области применения:

- Электроника и полупроводниковая промышленность

-  Производство оптических компонентов и покрытий

-  Материаловедение

-  Нанометрология

-  Медицина                                                                 

 

 

Области применения (медицина)

 

Клетки крови

-  Морфология лимфоцитов

-  Изменение морфологии при активации

-  Объем

-  Площадь поверхности

-  Показатель преломления гемоглобина

Сравнение микроскопа МИМ с аналогами1.71 Мб

Лазерная модуляционная интерференционная микроскопия...423 Кб

Лазерные микроскопы МИМ для нанотехнологий.Загрузить полную PDF-версию статьи (369.1 Кб)

Интерференционные лазерные микроскопы МИМ на производстве...