Установка для травления Applied Materials CENTURA® AVATAR™  - «Научное и производственное оборудование | лабораторное оборудование | Theseus Lab» в Чехии

Установка для травления Applied Materials CENTURA® AVATAR™

Под заказ
Цену уточняйте
Купить в 1 клик
Пример: +375 29 4911911
+375 показать номер
Добавить в избранное
Способы оплаты
Безналичный расчет
Способы доставки
Самовывоз, Транспортная компания
Характеристики
Основные
Производитель

Бренд, торговая марка или название предприятия-производителя, под знаком которого изготовлен товар. «Собственное производство» означает, что товар изготовлен продавцом либо не сертифицирован.

Applied Materials
Страна производитель США
Описание

Изготовление флэш-памяти с помощью традиционной планарной технологии приближается к критическим ограничениям пропорциональной миниатюризации перехода на 3D-решения. Это создает значительные проблемы для травления диэлектрика, особенно элементов с большим относительным удлинением (HAR). Кроме того, 3D архитектура И-НЕ включает в себя несколько чередующихся диэлектрических слоев, создание которых увеличивает требования, предъявляемые к системе травления. Она должна быть способна тщательно контролировать профиль по всей пластине для отношений ширины к длине до 80: 1, иметь высокую производительность и обладать высокой селективностью вольфрама для характерных контактов 3DИ-НЕ ступенчатой формы.

 

Установка AppliedAvatar обладает пошаговой настройкой температуры и возможностью контроля, которые позволяют установить правильное заданное значение температуры и обеспечивать её постоянство для каждого этапа процесса травления, с трехчастотной мощностью и многозонной подачей газа для достижения необходимых глубин травления с эталонным контролем профиля. С помощью данной установки можно изготавливать высокопроизводительные, надежные устройства следующего поколения с 97% отношением критических размеров по всей пластине и без прогиба боковой стенки. Более того, высокоселективное травление дает незначительную потерю основного материала контакта.

 

 

Данные функциональные возможности необходимы для создания сложного ступенчатого контакта 3D И-НЕ. Их создание требует высокотехнологичного контроля и регулировки ионной энергии, температуры пластины и пассивирования для достижения многоуровневого контактного травления за один проход без разрушения вольфрама (или следующего материала контакта) в нижней части самых мелких контактных отверстий.

 

Поддержание отвечающей требованиям селективности и целостности маски является необходимым, но очень сложным условием для травления с большим относительным удлинением. Для этих применений с помощью настройки высокочастотного источника можно создать более высокую плотность плазмы, что позволяет получить более высокую скорость травления, не ухудшая профиль и избирательность.

Отзывы о товаре
Об этом товаре пока что нет отзывов.
Вы можете оставить первый отзыв.
47% положительных из 20 отзывов
Актуальность цены 14%
Актуальность наличия 40%
Актуальность описания 29%
Выполнение заказа в срок 17%
  • 5
    Отлично
    В 2017 году между ОАО "Камволь" и ООО "Тесеус Лаб" был заключён контракт на поставку комплекта лабораторного оборудования для инструментальной оценки физико-механических показателей волокна, пряжи, тканей, водяной бани, климатической камеры для вылеживания образцов ткани перед испытанием, шкафа сушильного для высушивания образцов до постоянного веса, автоматического устройства для зигзагообразной резки образцов ткани производства ф."Mesdan"(Италия), ф."ТехTechno"(Германия), ф."Uster"(Швейцария). Поставка и монтаж оборудования были произведены в согласованные в контракте сроки, без нарушений. Модем охарактеризовать "Тесеус Лаб" как надёжную организацию, придерживающейся договорных обязательств, сроков проведения работ и качества на должном профессиональном уровне.
  • 1
    Очень плохо
    Абсолютно игнорирование со стороны компании, контактные данные указаны неверно, на сообщения не отвечают. На са
    • Заказ выполнен невовремя
    • Описание неактуально
    • Наличие неактуально
    • Цена неактуальна
Установка для травления Applied Materials CENTURA® AVATAR™
Под заказ
Цену уточняйте
+375 показать номер
Перезвоните мне