Характеристики и описание
- Производитель
- Страна производительЮжная Корея
Решение для измерения остаточных напряжений в тонких плёнках
В случае, когда плёнка подвергается усилию растяжения-сжатия, тестер измеряет коэффициент деформации тонкопленочной структуры, и вычисляет остаточное напряжение.
Характеристики тестера остаточного напряжения
- Автоматический контроль осей X-Y
- Расчёт остаточных напряжений путем использования формулы Стоуни для тонких пленок (способен измерять аморфные состояния)
- Простота в управлении
Предостережение
- Процесс измерений: монтажная плата требует использования кремниевых пластин с толщиной 250 ± 15 мкм, длиной в 10 раз больше ширины.
- Толщина тонкой пленки должна быть меньше, чем 1/50 размера печатной платы.
Характеристики тестера остаточного напряжения
| Диапазон закругления | 2 м ~ 100 м |
| Диапазон измерений | 60 МПа ~ 10 ГПа |
| Разрешающая способность | 10МПа |
| Диапазон погрешности | ＜ 10% |
| Максимально сканируемая длина | 30 мм |
| Минимальный шаг сканирования | 0.2 мм |
| Толщина подложки | 100 мкм ~ 800 мкм |
| Толщина покрытия | 0.05 мкм ~ 10 мкм |
| Ход этапа сканирования | 30 мм |
| Разрешение этапа сканирования | 25 мкм |
| Ход этапа нагрузки | 140 мм |
| Разрешение на этапе нагрузки | 0.5 мм |
| Скорость измерений | 0.02 мм/с |
| Размеры тестируемого образца | 40 мм[длина] x 4 мм[ширина] |
| Характеристики PSD датчика | 5 мкм |
| Размеры устройства | 500[Ш] x 500[Д] x 500[В] мм |
| Вес | 30 кг |
| Потребляемая мощность | 150 Вт |
Доставка
Оплата и гарантии