Описание:

Серия установок дисковой резки 7120/7130 со шпинделями размером 2 и 4 дюйма предоставляют высокий уровень доступности и гибкости для обеспечения ваших потребностей.

Модели серии 7120/7130 охватывают самый широкий спектр применений, предлагая самые низкие затраты на оборудование, обеспечивая при этом Ваше производство самыми передовыми технологиями дисковой резки. Установки могут проводить операцию дисковой резки для следующих применений:

• Керамические подложки
• Тонкоплёночные и гибридные модули
• Стекло и стекло на кремнии
• МЭМС
• Светодиоды и светодиодные сборки
• Подложки под корпуса типов BGA, QFN, LTCC
• Опто-электронные компоненты
• Интегральные схемы
• Печатные платы

 

Сравнение с предыдущей версией серии 7100

• Наличие нового мощного промышленного ПК
• Шпиндель с большей вибрационной устойчивостью
• Вращательный рабочий столик с высоким крутящим моментом и точностью позиционирования до 1 мкм
• Камера высокого разрешения (2000 х 2000 пикс)
• Микроскоп с высоким оптическим разрешением
• Увеличенный ход по оси X для более простой загрузки и выгрузки заготовок
• Сервисное окно для более удобного доступа при проведении ТО
• Вакуумный ресивер, сокращающий потребление сжатого воздуха до 30%

 

Модели серии

7122

Шпиндель на воздушном подшипнике диаметром два дюйма с фронтальным креплением, мощностью до 1,2 кВт и максимальной скоростью вращения до 60 тыс. об/мин. Бесщеточный двигатель постоянного тока обеспечивает управление скоростью с обратной связью.

Поддерживает 2”-3” бесфланцевые и фланцевые лезвия. Размер обрабатываемых изделий ограничен областью 8” x 8” (200 х 200 мм). Система также оборудована поворотным рабочим столиком с обратной связью, оптимизированным под резку следующих приложений:

Кремниевые пластины	ПАВ-фильтры
Тонкоплёночные и гибридные модули	Датчики на стекле / кремнии
LED-сборки высокой яркости	Пьезодатчики

 

7132

Шпиндель на воздушном подшипнике диаметром два дюйма с фронтальным креплением, мощностью до 1,2 кВт и максимальной скоростью вращения до 60 тыс. об/мин. Бесщеточный двигатель постоянного тока обеспечивает управление скоростью с обратной связью.

Поддерживает 2”-3” бесфланцевые и фланцевые лезвия. Размер обрабатываемых изделий ограничен областью 12” х 9” (300 х 225 мм) для прямоугольных заготовок с рамкой (12” x 12” без рамок) и 12” (300 мм) для круглых. Система также оборудована поворотным рабочим столиком с обратной связью, оптимизированным под резку больших подложек и мульти-панельной резки:

Печатные платы	200 и 300 мм кремниевые пластины
Подложки под QFN, BGA	ПАВ-фильтры
LED-сборки	высокой яркости

 

7124

Высокомощный шпиндель на воздушном подшипнике диаметром четыре дюйма, мощностью до 2,5 кВт и максимальной скоростью вращения до 30 тыс. об/мин. Бесщеточный двигатель постоянного тока обеспечивает управление скоростью с обратной связью.

Поддерживает 4” и 5” бесфланцевые лезвия. Размер обрабатываемых изделий ограничен областью 8” x 8” (200 х 200 мм). Система также оборудована поворотным рабочим столиком с обратной связью, оптимизированным под резку следующих приложений:

Керамические подложки	Гибридные модули
Подложки из оксида алюминия	Тонкоплёночные модули

 

7134

Высокомощный шпиндель на воздушном подшипнике диаметром четыре дюйма, мощностью до 2,5 кВт и максимальной скоростью вращения до 30 тыс. об/мин. Бесщеточный двигатель постоянного тока обеспечивает управление скоростью с обратной связью

Поддерживает 4” и 5” бесфланцевые лезвия. Размер обрабатываемых изделий ограничен областью 12” х 9” (300 х 225 мм) для прямоугольных заготовок с рамкой (12” x 12” без рамок) и 12” (300 мм) для круглых. Система также оборудована поворотным рабочим столиком с обратной связью, оптимизированным под резку больших подложек и резки под множеством разных углов:

Керамические подложки	Гибридные модули
Подложки из оксида алюминия	Тонкоплёночные модули

 

Опции установок серии

• 71TS – шпиндель с регулируемым углом наклона к вертикальной плоскости от 0 до 15°
• 7100 XLA – оснащение большой зоной резки: 24”x 18” (600 х 450 мм) для прямоугольных заготовок и 450 мм - для круглых
• 71MD – высокоточная система замера глубины реза, повышенная виброустойчивость шпинделя
• GMF – опция распознавания геометрических образов (крест, прямоугольник и пр) для цифровой камеры
• DFM – соединение нескольких машин (до 22 шт) в единую производственную линию и полный мониторинг состояния посредством протокола SECS/GEM
• HMSF – опция ПО, позволяющая проводить резку заготовок по гексагональной геометрии
• LDS – увеличенная станция заточки

 

Спецификация моделей серии 7120/7130

Модель		7122	7132	7124	7134
Максимальный размер обрабатываемых подложек, мм		200 х 200	300 х 300	200 х 200	300 х 300
Шпиндель	Тип	На воздушных подшипниках, бесщеточный двигатель постоянного тока
	Диаметр, дюйм	2		4
	Макс. частота вращения, об/мин	60 000		30 000
	Мощность, кВт	1,2 (опционально 2,4)		2,5
Размер лезвия, дюйм		2 – 3		4 - 5
Привод	Ось Y	На воздушном подшипнике, винтовая передача с шаговым двигателем, линейный энкодер, разрешение 0,1 мкм
	Ось X	На воздушном подшипнике, винтовая передача с бесщеточным двигателем постоянного тока, скорость до 600 мм/с
	Ось Z	На воздушном подшипнике, винтовая передача с шаговым двигателем, поворотный энкодер, разрешение 0,2 мкм, величина хода 50 мм
	Ось Theta	Двигатель постоянного тока с обратной связью, точность 4 угл. Секунды, величина хода 360°
Подключения	Электропитание	200-240 В, 50/60 Гц, 1 фаза, сжатый воздух
	Сжатый воздух	Расход 260 л/мин, давление 5,5 атм
	Водяное охлаждение шпинделя	Проточная вода, расход до 1,1 л/мин
	Вода для резки	Деионизованная, расход до 3 л /мин
Оптическая система		Цифровая камеры, LED-подсветка (прямая и кольцевая), цифровое увеличение Х55 – Х210
Габариты (Ш х Г х В), масса		875 х 975 х 1450 мм, 830 кг