Функции            

• Система ZI-2000 может использоваться в целом ряде процессов, начиная с производственного контроля в процессе первичной обработки пластины, где требуется гибкость, до финального визуального осмотра, где основным критерием является скорость.
• Специальная головка с запатентованной линзой/системой подсветки и высокоскоростным процессором для обработки изображений обеспечивают высокую производительность независимо от количества схем на полупроводниковой пластине. 
• Легкое создание рецептов и оперативный анализ новых пластин благодаря отсутствию необходимости сравнения с эталонным изображением.
• Все результаты анализа можно подтвердить в режиме реального времени. Функция автоматической классификации дефектов (ADC) позволяет просматривать только необходимые результаты по окончании проверки.
• Компактный дизайн и низкая стоимость обусловлены использованием платформы систем для оптического измерения толщины пленки Lambda Ace, а также более узкой функциональностью установки.

Спецификация

• Пластина: ø5~ ø8 дюймов  / ø125~ ø200 мм (открытая кассета)
• Транспортировка: Роботизированное транспортное устройство
• Метод анализа: Сравнительный
• Источник подсветки: RGB 3-цветная LED подсветка (цвета на выбор)
• Оптическое разрешение: 1.5 мкм х 1.5 мкм
• Производительность :
  • 46 сек/  ø5 дюймов (ø125 мм)
  • 56 сек/ ø6 дюймов (ø150 мм)
  • 79 сек./ ø8 дюймов (ø200 мм)  (вкл. время транспортировки)
• Габариты (ШxГxВ): 1,400 мм x 1,250 мм x 2,030 мм
• Вес: Прим. 1 200 кг