Описание:

Установка LA－830 представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида,  устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.

Характеристики

• Датчик температуры контакта пластины “TS probe” обеспечивает хорошую воспроизводимость процесса независимо от типов пластин и газов.
• Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа создает среду обработки высокой чистоты. 
• 18-ступенчатая регулировка мощности и уникальный механизм фиксации пластины обеспечивают улучшенную равномерность обработки.
• Высокоскоростной температурный контроллер, предназначенный для линейного нагрева, предоставляет возможность непрерывного управления термическим процессом.

Базовая спецификация

• Пластина/размер: Si/ 6 или 8 дюймов (выбор)
• Перемещение пластины: Робот с двумя руками
• Кварцевая рука, рука из керамики высокой чистоты (перемещение), кварцевый держатель
• Перемещение в N2 (опция)
• Термическая печь     
  • Галогеновая лампа больше 18/меньше 18: мощность лампы 170В, 1.7кВт на лампу
  • Корпус лампы: покрытие Au, водяное охлаждение
  • Диапазон температур: 350C ~1100C
  • Регулировка температуры: управление датчиком «TS probe» в замкнутом цикле
  • Различные технологические/предохранительные блокировки
• Газовый блок   
• Регулирование массового расхода: макс. 4 газа
• Габариты (мм):  795(ш)x2950(г)x2150(в)   *без пульта управления
• Вес: 1150кг (основной корпус)