Описание:

CVD Equipment Corporation выпускает системы быстрой термической обработки для исследований и производства и системы быстрого термического отжига для многочисленных применений, включающих солнечные элементы, графен, углеродные нанотрубки, нанопровода, светодиоды, микроэлектромеханические системы, полупроводники и промышленные покрытия.

Система быстрой термической обработки может быть сконфигурирована для оксидирования, отжига, нитрида кремния, вплавления контактов, оксида олова, активации имплантантов GaAs, оплавления фосфоросиликатного и   борофосфоросиликатного стекла, кремнийорганических диэлектриков и многих других применений.

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования набора команд
• Системы с атмосферным и пониженным давлением для обработки подложек и больших панелей
• Одиночные и многозонные системы, использующие ортогональные линейные, параллельные линейные или осесимметричные инфракрасные лампы
• Рабочая температура от 400 °C до 1300 °C
• Быстрое срабатывание и низкая тепловая масса обеспечивают повышение температуры со скоростью более 100 °C в секунду
• Системы автоматического микропроцессорного управления
• Эксплуатация в режимах атмосферного давления (APCVD), низкого давления (LPCVD), сверхвысокого вакуума (UHVCVD) процессов химического осаждения из газовой фазы.
• Элементы управления газом высокой чистоты включают газовый трубопровод 316 л из нержавеющей стали со сваркой неповоротных стыков, соединения VCR-типа, регуляторы весового расхода, сверхтонкую фильтрацию, пневматические клапана Nupro и нагнетательный/прогонный манифольды
• Узел оконечного элемента из нержавеющей стали, с водяным охлаждением, витоновым уплотнительным кольцом соединяется с кварцевой камерой высокой чистоты или осесимметричной камерой. В системах задействованы газовые инжекторы и надежная отводная линия
• Доступен высоковакуумный загрузочный шлюз

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.

Протоколы безопасности

Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.