Описание

Установка PG3000RMX сочетает в себе несколько свойств – она может одновременно утонять пластины и удалять повреждения, микротрещины, сколы, образуемые при грубой их шлифовке.

Отличительные особенности:

• В установку PG3000RMX в дополнение к основным функциям, которые имели системы PG200/300 были добавлены функции удаления защитной пленки с тонких пластин и установки пластин на рамку для последующей резки.
• Поддерживает процессы грубой шлифовки и зачистки, полирование и окончательную промывку пластины.
• Все процессы выполняются на одном и том же рабочем столике без перемещения пластины.
• Самая малая занимаемая площадь среди аналогичных установок.
• Не наносит вред окружающей среде – повреждение поверхности пластины уменьшено при шлифовке без химических растворов.

Опции:

• Бесконтактный прибор непрерывного контроля с функцией мониторинга и измерения толщины
• Функция внешнего геттерирования
• Система очистки пластин
• Система интеграции

Области применения:

• Шлифовка и полировка пластин 
• Планаризация