Спецификация PLD-12:

• UHV вакуумная камера диаметром 300 мм из стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr).
• Дверь быстрой загрузки, Ø200 мм.
• 4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов (перемещение 20 мм по XY, 100мм по оси Z, вращение 360°).
• Нагрев до температуры 1200°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3).

• Держатель образцов на 25 мм (возможно расширение применяемых образцов вплоть до 150 мм в диаметре).
• Планетарный манипулятор мишеней на 6 позиций по 25 мм Ø.
• Система маскирования с Z-перемешениеем.
• Система контроля давления.
• Эксимерный лазер с оптической линейкой.
• Толщиномер.
• Клапан натекания цельнометаллический.
• Турбомолекулярный насос и форвакуумный насос.
• Широкодиапазонный вакуумный датчик.
• Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм.
• Программа управления всей системой (FBBear).
• Минимальная занимаемая площадь.
• HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом.

Спецификация PLD-18:

• UHV вакуумная камера диаметром 457 мм из стали марки SS316L с электрополировкой, давление в камере (1E-10 Torr).
• Дверь быстрой загрузки, Ø200 мм.
• 4-х осевой (XYZR) Манипулятор подложек с лазерным нагревом образцов (перемещение 20 мм по осям XY, 100мм по оси Z, вращение 360°).
• Нагрев до температуры 1000°C ± 1°C (в присутствии газов О2 или О3).

• Держатель образцов на 25 мм (возможно расширение применяемых образцов вплоть до 150 мм в диаметре).
• Планетарный манипулятор мишеней на 6 позиций по 25 мм Ø.
• Система маскирования с Z-перемешениеем.
• Магнитная защита порта ввода лазерного излучения.
• Система контроля остаточного давления.
• RHEED система с дифференциальной откачкой.
• Система контроля давления.
• Эксимерный лазер с оптической линейкой.
• Клапан натекания цельнометаллический.
• Турбомолекулярный насос и форвакуумный насос.
• Широкодиапазонный вакуумный датчик.
• Компьютер с экраном и монитор с диагональю 580 мм.
• Программа управления всей системой (FBBear).
• Большое кол-во запасных портов для будущего апгрейда системы.
• HV Загрузочная камера из стали марки SS304, электрополированная, давление 1E-7 Torr с широкодиапазонным датчиком давления и турбомолекулярным насосом.