Система контроля плазменных процессов PPM422 (Plasma Process Monitor) представляет собой масс-спектрометр с дифференциальной накачкой и с интегрированным энергетическим анализатором для измерения нейтральных частиц, положительных и отрицательных ионов, а также для энергетического анализа ионов и нейтральных частиц в плазменных процессах.