Описание:

Система газовой инжекции OmniGIS® производства компании Omniprobe является одной из наиболее совершенных на сегодняшний день системой газовых инжекторов, позволяющей производить выборочное травление материала и осуществлять депозицию проводников и диэлектриков.

Основными преимуществами системы газовой инжекции  OmniGIS®  являются:

• осуществление контролируемой доставки нескольких металлоорганических соединений и газов-носителей, занимая при этом всего один порт микроскопа и используя один  инжектор для всех газов;
• совместимость практически со всеми имеющимися моделями ионно-лучевых и электронно-лучевых растровых микроскопов;
• обладание тремя прекурсорами, двумя штуцерами для подачи инертного газа и единой иглой-зондом;
• наиболее совершенный на сегодняшний день газовый инжектор

Система газовой инжекции OmniGIS® применяется для:

• напыления предохранительного слоя;
• приготовления образцов для TEM;
• модификации интегральных схем;
• электронно-лучевой литографии;
• напыление слоя толщиной в один атом;
• доставка самоорганизующихся монослоев внутрь микроскопа in situ;
• электрическая проверка структур;
• перемещение нанонитей.