Описание:

Компактная система NanoRobot-6AX предназначена для точного позиционирования. Она комбинирует уникальные возможности RoboMate с XYZ-позиционером NTS100. NanoRobot-6AX – это быстродействуюшая 6- осная полностью автоматическая система. Пользователь имеет возможность подводить рабочий инструмент к объекту под любым мыслимым углом с нанометровой точностью. Использование технологии Virtual Point позволяет изменять угол инструмента не смещая его кончик. Система управляется программно, но может управляться и джойстиком, приобретаемым дополнительно.

Конструкция.

В основе механизма особо точные пьезоэлектрические шаговые двигатели, контролирующие каждую из омей прибора. Линейное смещение по 3 осям осуществляется NTS100 в пределах 100 мм по каждой оси. Угловое смещение обеспечивает RoboMate, закрепленная на линейной XYZ системе.

Технология Virtual Point. Виртуальная точка формируется в месте пересечения осей первого и второго двигателя, а также оси инструмента. В такой конфигурации возможно изменение угла подхода к виртуальной точке без смешения кончика инструмента.

Работа с NanoRobot-6AX через программное обеспечение под Windows, но возможно и при помощи джойстика (для  контроля  всех  6  осей  требуется  2 джойстика: один для XYZ и один для угловых смещений).

Пределы линейных смещений составляют 100 мм по каждой XYZ оси.

Пределы угловых смещений: 360 градусов на первом двигателе (R1) и –90 - +70 градусов на втором (R2).

Держатель инструмента линейно смещается на 50 мм по оси инструмента.

Сердцем системы управления является DSP процессор, управляющий двигателями. При отключении питания каждый двигатель жестко фиксируется в текущей позиции. Люфт и дрейф пренебрежимо мал. NanoRobot-6AX требуется питание 12 В, которое может быть от аккумуляторов (приобретается дополнительно).
 

Применение

• Микроскопия о разработка микросхем
• Микро и нано-позиционирование
• Тестирование микросхем (управление пробником)
• Укладка оптоволокна
• Ориентирование для рентгеновской съемки
• Ультра-точная сборка
• Электрофизиология
• Микроинъекция
• Микрохирургия

 

Технические характеристики

NTS100 XYZ позиционер
Смещение	100 мм x 100 мм x 100 мм
Мин.инкремент (открытый цикл)	около 1нм
Мин.инкремент (замкнутый цикл)	50 нм или 125 нм в зависимости от модели енкодера
Точность на наибольшем смещении	<0.01%
Воспроизводимость   (однонаправленная)	< 1нм
Воспроизводимость (двунаправленная)	< 0.3 мкм
Люфт (мертвый ход)	< 0.3 мкм
Гистерезис	< 0.5 мкм
Вращение (X) / 1 мм	< 2.5 мкрад
Наклон (Y) / 1 мм	< 2.5 мкрад
Максимальная скорость	500 мкм/с
Время отклика (зависит от скорости)	< 0.3 мс
Диапазон скоростей	0.5 нм/с - 500 мкм/с
Наибольшая вертикальная нагрузка	3 кг
Наибольшая горизонтальная нагрузка	10 кг
Наибольшее усилие вперед/назад	30/30 Н
Долговременная стабильность	< 2 нм/час при 20oC

 

RoboMate
Угловые двигателей отклонения от вертикали	360° (R1) и -90° - +70° (R2)
Минимальный угловой шаг	0.00055°
Скорость углового вращения	0.006°/с - 90°/с
Диапазон линейного смещения	50 мм
Минимальный линейный шаг	0.1 мкм
Скорость линейного смещения	1 мкм/с - 25 мм/с
Шаг линейного смещения в шаговом режиме	0.01 - 1.0 мм
Максимальная негрузка	0.5 кг
Наибольшее поступательное/возвратное линейное усилие	20 Н
Угловой дрейф	< 0.0003°/час
Линейный дрейф	< 2 нм/час

 

Общие параметры NanoRobot-6AX
Вес	2.85 кг
Размеры (мм)	300 x 450 x 600
Питание	12 В
Мощность	9 Вт