Описание:

Модель 3400 компания Nordiko представляет собой передовую вакуумную систему осаждения тонких пленок, предназначенную в первую очередь для работы с диэлектрическими и металлическими пленками.

Ионный пучок распыляет одну из четырех имеющихся внутри камеры мишеней  создавая поток материала, который осаждается на подложку. Вторая ионная пушка направлена прямо на столик с подложками и служит либо для предочистки подложек до осаждения на них пленки материала, либо для ассистирования при осаждении.

Уникальная геометрия установки вкупе с выдающимися характеристиками ионной пушки обеспечивают превосходную однородность осаждаемой пленки на пластинах диаметром 200 мм. Небольшая модификация данной системы позволяет работать с пластинами и до 300 мм, при этом однородность осажденной пленки ухудшается совсем незначительно.

Ниже даны некоторые данные по однородности осажденной пленки:

Во время осаждения пленок столик вращает удерживаемую на нем пластину (подложки) и эта функция наряду с возможностью изменения наклона столика с подложками по отношению к потоку осаждаемого материала позволяет оптимизировать гомогенность и морфологию растущей пленки.

Для чувствительных процессов с подачей реактивных газов система может быть дополнена устройствами управления парциальным давлением в камере.

Мир современных нанотехнологий требует особо точных инструментов, к которым и относится модель 3400. Данная система с двумя ионными источниками генерирует особо точные ионные пучки, требуемые для процессов распыления и осаждения материалов. Эта и другие, выпускаемые компанией Nordiko системы и установки работают при производстве устройств памяти MRAM, создания магнитных записывающих головок или микроболотометров.