Описание:

История компании Nordiko начиналась с разработки и производства вакуумных  систем осаждения тонких пленок при применении магнетронов в качестве источников потоков осаждаемого на подложку материала. Только после 10-лет разработки таких систем компания начала разработку и создание установок с ионными пушками для травления и нанесения тонких пленок. И вот в ответ на запросы заказчиков компания разработала и выпустила на рынок установку серии N2000.

Установка представляет собой компактную систему с 4-мя магнетронами диаметром по 150 мм установленных конфокально к манипулятору подложек. Манипулятор подложек имеет функцию вращения и может работать с подложками до 200 мм в диаметре.

Установку можно дооснастить вакуумной загрузочной камерой с подачей пластин по одной или загрузочной камерой с кассетой на 25 пластин или экономичным вариантом с кассетой на 4 пластины.

Особенности:

• Компактная система
• Напыление сверху-вниз
• Осаждение на вращаемый подожкодержатель
• Пластины до 200 мм
• Изменяемое расстояние источники-подложка
• Возможна одновременная работа нескольких магнетронов в цикле
• Реактивное осаждение пленок
• ВЧ/ПТ работа источников питания

Опции:

• ВЧ смещение на подложку
• Нагрев подложек
• Проекция магнитного поля в области подложки