CLM-3D является полноценной автозагрузочной платформой, предназначенной для автоматизированных двухлучевых систем, осуществляющих цифровой трехмерный анализ полупроводниковых приборов в условиях чистой комнаты. Система сочетает в себе электронную колонну нового поколения и ионную колонну с большим током, которые обеспечивают высокую точность для приготовления поперечных срезов для задач метрологии.

Двухлучевая система CLM-3D специально разработана для анализа подповерхностных особенностей полупроводниковых приборов.

Основные преимущества

• Достоверные результаты в метрологии, ускорение выхода на рынок суб-130 нм технологии
• Истинные поперечные сечения в метрологии для получения реальных статистических данных
• Более быстрое развитие, детализация и пригодность лито-травления пленки и использования меди в процессах
• Графический программный интерфейс IC3D для удобства использования и высокой производительности
• Быстрое время получения данных для любой техники приготовления срезов
• Автоматический режим работы