Описание:

Helios NanoLab 660 представляет самые последние достижения компании FEI в совместном использовании технологии автоэмиссионных СЭМ (FESEM) и технологии  сфокусированного пучка ионов (ФИП). Как одиннадцатая двухлучевая платформа, этот микроскоп предназначен для доступа к новому миру крайне высокого разрешения (XHR) в 2D и 3D анализе, создании 3D нанопрототипов и более качественной подготовки образца.

Исключительные возможности визуализации Helios NanoLab 660 начинаются с Elstar FESEM. Благодаря интегрированному монохроматору (UC) и торможению пучка, он обеспечивает субнанометровое разрешение во всем диапазоне от 1 до 30 кВ. Elstar представляет и другие уникальные технологии, например, поддержание постоянной мощности линзы для более высокой термической стабильности и электростатического сканирования, для более высокой линейности отражения и скорости. Его линзовый детектор, установленный для улучшения эффективности накопления сигнала вторичных и обратно рассеянных электронов (SE, BSE), дополняется продвинутым комплектом детекторов FEI, включающим три инновационных детектора: два мультисегментных твердотельных детектора для потрясающе низкого напряжения в SE/BSE и (С)ПЭМ режимах работы, а третий оптимизирует FIB-SE и-SI (вторичных ионов) визуализацию.

Для более быстрого, точного и надежного травления, резки и визуализации с помощью ионов Helios NanoLab 660 использует последнюю разработку компании FEI – ионную колонну Tomahawk FIB. Производительность колонны Tomahawk в условиях низкого напряжения достаточно велика, чтобы получать СПЭМ изображения тонких образцов с высоким разрешением и производить микроскопию с помощью атомного зонда с лучшим качеством во всем мире. Он не только может похвастаться отличным разрешением изображений в режиме ионного пучка со встроенный дифференциальной подкачкой и коррекцией времени пролета, но и обеспечивает концентрацию пучка и точный профиль сканирования для высокоточного ионного травления. Создание сложных структур на наноуровне возможно благодаря большой вариативности химического состава пучка (закачка газа), 16-битному генератору моделей и встроенному CAD, макросам или библиотекам моделей. Четкие и точные ФИП срезы в сочетании с высокоточной пьезоплатформой и высокой производительностью СЭМ открывают дверь в новое поколение автоматизированного программного обеспечения для автоматической подготовки образцов или 3D исследования и анализа.

Основанный на своей эволюционной программной платформе хТ, Helios NanoLab 660 предназначен как для новичка, использующего простой, но точный и понятный интерфейс прибора, так и для эксперта, который может опираться на гибкость инструмента и расширенный контроль для продвинутой работы с СЭМ и ФИП. Присоединяйтесь к сообществу ученых и технологов, работающих с Helios NanoLab, и вы станете следующим, кто внесет свой вклад в расширение границ наномасштабных исследований с DualBeam.

Основные преимущества:

• Лучшие в своем классе технологии Elstar, Шоттки FESEM, позволющие работать с субнанометровым разрешением в диапазоне от 1 до 30 кВ.
• Универсальный Tomahawk FIB обеспечивает отличные изображения в режиме работы с низким напряжением (до 500 В) и током пучка до 65 нА.
• 150 х 150 мм высокая точность, высокостабильная пьезоплатформа.
• Уникальные технологии визуализации и технические разработки, в том числе использование детектора второго поколения Helios II и стратегий сканирования и мониторинга процесса.
• Наиболее полный набор с возможностью создания прототипов, с интегрированным 16-битным генератором моделей, передовой библиотекой с базой моделей и самым полным набором GIS.
• Лучшая в своем классе подготовка образцов и 3D характеризация и анализ.

Характеристики

• Разрешение электронного пучка  -  0.8 нм при 15 кВ и 0.9 нм при 1 кВ
• Разрешение в режиме ионного пучка  -  4.5 нм при 30 кВ
• Ускоряющее напряжение  -  50 В - 30 кВ (электроны), 500 В - 30 кВ (ионы)